迫于美國壓力開始延遲向中芯發貨?光刻巨頭ASML官方回應
作為極紫外光刻芯片工具(EUV)的全球唯一供應商,延遲發貨將對中國芯片制造造成重擊。而此次受到影響的中國公司,疑為中芯國際(SMIC)。
日經新聞援引消息人士的話稱,ASML成為美國政府的“犧牲品”,“延遲發貨”的一大原因來自于美國政府的壓力。
對此,ASML在7日回應,指出公司正在申請許可證,但日經新聞所述“延遲出貨”僅為其媒體推測,ASML對此事從未評論或確認。
中芯國際也就此事回應稱,公司的EUV還處于“紙面工作”階段,尚未進行相關活動。中芯國際強調,目前,公司的先進工藝研發進展順利,研發與生產的連接一切正常,客戶與設備導入均正常運作。

極紫外光光刻機(EUV),圖自ASML官網
日媒:受到美國政府的壓力
據路透社6日報道,該公司發言人莫尼克·莫爾斯(Monique Mols)表示,根據瓦圣納協議,ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可。該出口許可于今年到期,ASML已經于到期前重新進行申請,目前正在等待荷蘭政府核準,預計將耗資1億歐元(約7.7億元人民幣)。
他說:“ASML只是在遵守法律。法律規定,出口裝運EUV需要出口許可證。現在我們已經重新申請。”
《日經新聞亞洲評論》則在6日的報道稱,ASML此次推遲發貨并不僅僅是許可證問題,而是受到來自美國政府的壓力。

“因美國壓力決定延遲發貨”,日經新聞報道
報道援引消息人士稱,ASML暫時決定推遲EUV設備的交付,“是因為它不想讓美國政府對此感到不安”,因為EUV是目前最先進的芯片光刻機。
他補充道:“但與此同時,考慮到中國是現如今增長最快的芯片市場,ASML也不想讓中國及其中國客戶對此失望不滿。”
據日經新聞數據,ASML公司92億美元(約644億元人民幣)的2018年年度銷售額中,約有16%來自英特爾和美光等美國公司。另外,ASML制造機器所需的零部件,有五分之一是在美國工廠生產的。
而中國市場對于ASML也變得日漸重要:2018年,該公司19%的銷售額來自中國。
該知情人士表示,原計劃在2019年底交付給中國公司的EUV光刻機,將預計延遲至2020年年中。
被延遲發貨的中國廠商疑為中芯
據日經新聞報道,作為中國首家訂購EUV的中國芯片制造商,中芯國際被認為是此次受影響的訂購商。盡管據路透社報道,ASML尚未就此事做出證實。
目前,業內已達成共識,必須使用EUV光刻機才能使半導體芯片進入7nm,甚至5nm時代。
去年5月,中國最大的芯片制造公司中芯國際向荷蘭ASML訂購了首臺EUV光刻機,價值1.2億美元,幾乎相當于該司2017年全部凈利潤。光刻機原計劃于2019年年初交付。
而在去年12月,臨近交貨時間,ASML突發大火。根據官網信息,火災摧毀元件供應商Prodrive工廠的部分庫存、生產線,因此,2019年年初供貨情況預計將會遞延。
2019年已經臨近尾聲,EUV仍未交付至中芯,并再次面臨“延遲通知”的風險。而ASML將此歸因于出口許可證到期。

2018年12月,ASML一供應商工廠發生火災,圖自荷蘭媒體
ASML回應:“延遲出貨”僅為其媒體推測
ASML于7日向《科創板日報》澄清稱,關于日經新聞有關中芯國際相關報道有誤,“延遲出貨”僅為其媒體推測,ASML從未評論或確認,對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述,表示抗議。ASML強調,對全球客戶一視同仁。

ASML最新回應,微博@財聯社APP 截圖
7日下午,中芯國際也就此事向《上海證券報》回應稱,公司的EUV還處于“紙面工作”階段,尚未進行相關活動。中芯國際強調,目前,公司的先進工藝研發進展順利,研發與生產的連接一切正常,客戶與設備導入均正常運作。
光刻機是半導體制造領域的核心設備之一,ASML公司則是這個行業內的領軍企業。尤其EUV光刻機上,ASML處于“壟斷”地位——這家公司是全球唯一能生產EUV的企業。
EUV光刻機作為現今最先進的芯片制造設備,是唯一能夠生產7nm以下制程的設備,因此,其也被稱為“突破摩爾定律的救星”。
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