豐田合成成功制造出用于下一代功率器件的更大尺寸的氮化鎵基片
豐田合成正在利用其在GaN半導(dǎo)體(藍(lán)色LED和UV-C LED)方面的專業(yè)知識(shí),開發(fā)下一代功率器件。豐田合成株式會(huì)社與大阪大學(xué)合作,成功地增加了用于氮化鎵(GaN)功率器件的基片直徑。
功率器件被廣泛用于工業(yè)機(jī)械、汽車、家用電器等領(lǐng)域的功率控制。隨著社會(huì)朝著碳中和的方向發(fā)展,下一代功率器件的實(shí)際應(yīng)用和廣泛使用很有希望,因?yàn)樗梢栽诳刂瓶稍偕茉丛O(shè)備和電動(dòng)汽車的大量功率時(shí)減少功率損失。氮化鎵功率器件是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的手段之一,在開發(fā)這些器件時(shí)需要更高質(zhì)量和更大直徑的氮化鎵襯底,以實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)力且降低成本。
在一個(gè)由日本環(huán)境部領(lǐng)導(dǎo)的項(xiàng)目(利用GaN技術(shù)實(shí)現(xiàn)脫碳社會(huì)和生活方式的領(lǐng)先創(chuàng)新項(xiàng)目,包括驗(yàn)證基于GaN基材開發(fā)的應(yīng)用產(chǎn)品的社會(huì)實(shí)施所帶來的二氧化碳減排)中,豐田合成公司和大阪大學(xué)采用了一種在鈉和鎵的液態(tài)金屬中生長氮化鎵晶體的方法(鈉通量法),制造了一個(gè)超過6英寸的高質(zhì)量氮化鎵襯底(氮化鎵籽晶體),這是世界上最大的水平。他們接下來將為6英寸基板的大規(guī)模生產(chǎn)進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估,并繼續(xù)提高質(zhì)量和增加直徑大小(超過6英寸)。
【來源:cnBeta.COM】
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