12月15日，在2021年中國半導體設備年會暨重慶半導體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展論壇（第九屆）上，中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠發(fā)表了題為《中國半導體設備回顧與展望》的演講。

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金存忠指出，2020年，特如其來的新冠肺炎疫情使中國半導體設備行業(yè)經(jīng)歷了前所未有的挑戰(zhàn)，而在中國迅速戰(zhàn)勝了疫情，中國半導體設備行業(yè)在國內(nèi)投資的集成電路生產(chǎn)企業(yè)量產(chǎn)后加速擴產(chǎn)和國家光伏發(fā)電政策的推動下，獲得了較快的發(fā)展機遇，呈現(xiàn)了繼續(xù)快速發(fā)展的態(tài)勢。

據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，中國大陸56家主要半導體設備制造商在2020年完成半導體設備銷售收入242.90億元，同比增長38.7%；總利潤為51.92億元，同比增長80.5%。其中，集成電路設備總銷售收入為96.77億元，同比增長59.0%。

金存忠表示，2020年中國半導體設備銷售收入前10家單位完成銷售收入192.12億元，占56家半導體設備制造商銷售收入總額的79.1%。在前10家單位中，北方華創(chuàng)以43.91億元的銷售收入排在第一位，同比增長54.5%。

在2021年上半年的銷售收入排名前10的半導體設備公司中，北方華創(chuàng)仍然以27.35億元排在首位。另外，華峰測控也以3.24億元的銷售收入躋身前10榜單。

金存忠表示，國產(chǎn)設備不僅銷售額和利潤正在快速增長，在創(chuàng)新層面也不斷有新的產(chǎn)品進入產(chǎn)業(yè)化階段，例如北方華創(chuàng)的12英寸電感道等離子體干法金屬刻蝕機、盛美股份的3D硅通孔電鍍設備、中微股份的深紫外LED MOCVD設備等。

不過，金存忠也指出，國產(chǎn)設備在全球范圍內(nèi)市場占有率仍然較低，且在國內(nèi)的市占率提升緩慢。2020年中國半導體設備（56家）在全球市場占有率僅為5.2%，在中國大陸市場占有率也只有17.3%，與2019年基本相同。

另外，國產(chǎn)設備在集成電路關鍵領域仍需依賴進口。金存忠表示，雖然已經(jīng)有國產(chǎn)光刻機研制成功，但相關產(chǎn)品目前尚未進入集成電路晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線。而在已經(jīng)進入晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線的國產(chǎn)設備中，晶圓制造量測設備、化學氣相沉積設備、離子注入機、引線鍵合設備、探針測試臺與國際同類設備都還有較大差距，市場占有率較低。（校對/落日）